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Wafers di silicio con sonde di temperatura Thermocouple instrumented silicon wafers |
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Questi componenti per il monitoraggio di temperatura nei processi di produzione di semiconduttori sono dei wafer in silicio che vengono equipaggiati con sonde di temperatura a termocoppia. Per produrre questi wafer abbiamo dovuto mettere a punto un processo specifico e costruire una macchina CNC per la fresatura dei substrati. These instrumented wafers are used to control and setup semiconductor production processes. To mount thermocouples into the wafer, we had to design the production process and we have also designed and constructed a dedicated CNC machine for substrate milling. |
Sistema per la misura di temperature su wafer Wafer temperature profiler |
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Questo strumento, da utilizzare con le sonde di temperatura su wafer, è un termometro multicanale con trasmissione wireless verso un terminale palmare dotato di un software specifico di visualizzazione e registrazione (in collaborazione con Astel). This system is used together with instrumented wafers and is a multi channel thermometer with wireless communication to a hand held terminal. On such terminal there is a complete data logging and display software for process setup (in cooperation with Astel) |
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UV/Ozone cleaning and preparation system |
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Questo sistema è stato studiato per la pulizia, la decontaminazione superficiale e la preparazione all'incollaggio di particolari in plastica per automotive. Utilizza una sorgente di UV-C con produzione di ozono, ua camera di esposizione studiata appositamente ed un sistema di movimentazione automatica dei pezzi. This system have been designed for surface cleaning and preparation of plastic parts for automotive. It is based on a UV-C, ozone producing source into a special cleaning chamber, and an automatic handling for parts. |
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